組み合わせ構造により、補助装置の作業環境を合理的に改善し、内部補助装置の耐用年数を延ばし、キャビネットの安全性を向上させます。

モジュール式配備方式を採用し、利用可能なキャビネットをより効率的に配備でき、需要に応じて構成を拡張・調整できるため、オンデマンドで配備でき、柔軟性が向上します。

半導体キャビネット本体は優れた物理的保護を提供し、外部からの電磁干渉、振動、埃、静電気を効果的に遮断し、キャビネットに組み込まれた重要な機器が安全で安定した作業環境にあることを保証します。

隔離されたメンテナンスコンポーネントの使用により、装置の定期的なメンテナンスが容易になり、クリーンルームの清浄度レベルに対する埃のダメージを低減し、半導体装置の耐用年数と信頼性を確保します。

顧客のニーズに合わせ、高度にカスタマイズされた製品を提供することで、あらゆる種類の特殊な要件に対応する最適な適応性と機能性を確保します。